无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
读音:mó,wú
[mó,wú]
没有，与“有”相对；不：无辜。无偿。无从（没有门径或找不到头绪）。无度。无端（无缘无故）。无方（不得法，与“有方”相对）。无非（只，不过）。无动于衷。无所适从。
读音:chén
[chén]
飞扬的灰土：尘土。尘埃。尘垢。尘芥（尘土和小草，喻轻微的事物）。粉尘。烟尘。甚嚣尘上。望尘莫及。 ◎ 佛家、道家指人间：红尘。尘世。
读音:shì
[shì]
屋子，房间，亦指家：居室。教室。会客室。温室。引狼入室。 ◎ 家，家族：皇室。女有家，男有室。 ◎ 机关团体内部的工作单位：档案室。 ◎ 古指妻子（亦指为子娶妻或以女嫁人）：妻室。继室。 ◎ 刀剑的鞘。 ◎ 墓穴。 ◎ 星名，二十八宿之一。
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