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三氯氢硅属于什么物
更新时间:2021-07-04 00:00:00

三氯氢硅是一种无机化合物,化学式为SiHCl3。

制备

经干燥的硅粉在氯化沸腾炉中与干燥氯化氢气体在340°C下进行反应,生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅,再经冷凝,得成品。利用硅铁和HCl的反应也可以得到产物。

用途

用作有机硅化合物的原料,也是生产多晶硅的基本原料。

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